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項目 / 吋別 200mm 300mm
Thickness 725 +- 25um 775 +- 25um
Type P P
Orientation <100> <100>
TTV <25um <25um
WARP <50um <50um
Res. 1~100 ohm-cm 1~100 ohm-cm
Thermal Oxide Layer 1000~20000 A+- 5% 1000~20000 A+- 5%

 

 
 
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