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MEMS 微機電是一種製程,而且每家公司做法不同,封裝方式也都不同。昇陽藉由多年來在Silicon Wafer 之製程技術,除一般之半導體製程,包括Grinding & Polishing和特殊蝕刻技術(Wet & Dry Etch & Vapor Etch),以及在Thin Wafer Handle 之製程經驗。可根據每個客戶的製程需求客製化量身訂定專屬的MEMS服務。

應用產品包括:
  • MEMS麥克風
  • 自動對焦元件
  • 壓力感測器
  • 行動感測元件
  • 陀螺儀
  • 加速度計

 
 
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