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管制項目/晶圓尺寸 150mm 200mm 300mm
移除量 ≦8μm ≦8μm ≦10μm
平坦度 ≦15μm ≦15μm ≦10μm
 Zn.Fe. Cu 金屬元素清洗能力
≦1 E10 ≦1 E10 ≦1 E10
晶片表面潔淨度
≦ 40 ea @ 0.160 μm ≦ 70 ea @ 0.100 μm ≦ 300 ea @ 0.045 μm
≦ 10 ea @ 0.200 μm ≦ 40 ea @ 0.160 μm ≦ 140 ea @ 0.060 μm
≦  5 ea @ 0.300 μm ≦ 10 ea @ 0.200 μm ≦ 30 ea  @  0.088 μm


玻璃晶圓(glass)

管制項目/晶圓尺寸 150mm 200mm 300mm
移除量 ≦8μm ≦8μm ≦10μm
平坦度(TTV) ≦15μm ≦15μm ≦10μm

 

鉭酸鋰(LiTaO3;LT)、鈮酸鋰(LiNbO3;LN)、石英晶圓(Quartz)

管制項目/晶圓尺寸 100mm 150mm
移除量 ≦10μm ≦10μm
平坦度(TTV) ≦10μm ≦12μm
翹曲度(warp) ≦40μm ≦50μm
粗糙度Roughness (Ra) ≦0.5nm ≦0.5nm

 

鍺晶圓(Ge)

管制項目/晶圓尺寸 100mm 150mm
移除量 ≦8μm ≦8μm
平坦度(TTV) ≦10μm ≦15μm
翹曲度(warp) ≦40μm ≦50μm
粗糙度Roughness (Ra) ≦0.5nm ≦0.5nm

 

碳化矽晶圓(SiC)

管制項目/晶圓尺寸 100mm
移除量 ≦3μm
平坦度(TTV) ≦7μm
翹曲度(warp) ≦30μm
粗糙度Roughness (Ra) ≦0.3nm

 
 
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